DSC internal talk in June

Prof. Tomohiro Matsushita gave a lecture in June.

The details are as follows.

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Prof. Tomohiro Matsushita (Solid-state Information Physics Laboratory)

TITLE:
光電子ホログラムの画像処理法と半導体中の不純物(ドーパント)や薄膜界面の立体原子配列の観測

ABSTRACT：
光電子ホログラフィーは物質中のドーパント(不純物)の立体原子配列を観測できる新たな測定法である。我々は専用の測定装置を開発し、大型放射光施設SPring-8にて多くの物質のドーパントや薄膜界面の立体原子配列を決定してきた。講演では測定した画像群から、圧縮センシングで光電子ホログラムを求める方法、バックグラウンド処理などの画像処理技術について紹介する。その応用例の半導体中のドーパント(シリコン、ダイヤモンド、GaNなど)やその半導体との絶縁膜界面の原子配列を紹介する。これらの知見は半導体デバイス開発に於いて、重要な知見となっている。