データサイエンス特別講義　第6回（2022年度）

11月15日（火）15：10より、「データサイエンス特別講義　第6回（2022年度）」を開催。
（併催：DSC（データ駆動型サイエンス創造センター）トーク会、光ナノサイエンス特別講義・マテリアル特別講義）

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日時： 11月15日（火）15:10-16:40
場所： オンライン（webex)
言語： 日本語
講師： 高橋 崇宏先生（静岡大学 工学部 電気電子工学科 准教授））

演題：化学気相成長法を対象とした反応モデル自動解析システムの開発

概要：半導体デバイス製造分野における研究開発の省力化や高速化を実現するために、化学気相成長法(CVD)を対象として研究開発過程の自動化を試みた。特に、CVD装置内部で原料ガスが気相および表面での反応を経て膜に至る反応機構(反応モデル)に注目し、成膜実験データを解析して妥当な反応モデルを自動的に提案するシステムの開発を行った。さらに反応モデルの効率的な解析に必要な実験計画を自動に提案するシステムの開発も併せて行った。